1. גלגל שחיקת יהלום מתכת משמש בעיקר לדילול גב של פרוסות אפיטקסיאליות ספיר, שבבי סיליקון, גליום ארסניד ושבבי GAN בתעשיית LED. גלגל השחיקה האחורי של מצע LED מיוצא למדינות רבות, עם ביצועי שחיקה מעולים ועל עלות גבוהה.
2. חומר עבודה מעובד: ספיר אפיטקסיאלי רקיק, SIC מצע אפיטקסיאלי פסק, SI מצע אפיטקסיאלי.
3. חומר של חומר העבודה: ספיר סינטטי, SIC, סיליקון גביש יחיד.
4. חוטפים: Shuwa, NTS, WEC, Galaxy, Speedfam, Okamoto.
|
1. דיוק גבוה של חומר העבודה הקרקע ואיכות פני השטח הטובה
2. שמירת צורה טובה של חומר העבודה
3. יעילות שחיקה גבוהה
4. כוח השחיקה הנמוך וטמפרטורת השחיקה הנמוכה
